Cover of Epitaxy

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Epitaxy

by Marian A. Herman

"This advanced textbook describes all important aspects of th epitaxial growth processes of solid films on crystalline substrates, including a section on heteroepitaxy. It covers and discusses in details the most important epitaxial growth techniques, which are currently widely used in basic research as well as in manufacturing processes of devices, namely solid-phase epitaxy, liquid-phase epitaxy, vapor-phase epitaxy, including metal-organic vapor-phase epitaxy and molecular-beam epitaxy. Epitaxy's coverage of science and technology thin-film is intended to fill the need for a...

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